第563章 重塑(第3页)

 如同拼图般一点点整合起来。每一次会议,都是不同思维方式的激烈碰撞,也是知识体系的艰难融合。 

 那份在争论、妥协、验证中逐步成型的《示范线清洗预氧化工艺规范(草案)》,其核心不再仅仅是冰冷的参数,而是一个包含了“标准主干流程”、“国产材料特性偏差判断逻辑”、“预钝化参数自适应模块”和“快速检测验证反馈”的兼容性框架! 

 这框架如同一个坚韧的底座,既支撑着国际标准的精密设备,又稳稳地托住了国产材料的现实。 

 这份凝聚了无数心血的草案,最终在示范线全新的进口清洗和氧化设备上,进行了首次全流程、多批次的量产验证运行。洁净室内,气氛紧张到了极点。 

 崭新的设备平稳运转,机械臂流畅地传送着不同批次的国产硅片。在线监测屏幕上的数据流如同瀑布般刷过。 

 周文兵紧盯着屏幕和他熟悉的设备状态指示灯,王晓军则带着技术员守在一排分析仪器旁。陈哲也放下了手册,目光紧紧追随着关键参数的变化。 

 一批又一批硅片顺利完成清洗和预氧化,进入后续环节。 

 最终的电性测试结果汇总到秦浩手中时,他那一直紧绷的脸上,终于露出了久违的、如释重负的笑容。 

 他举起报告,声音洪亮,带着穿透一切的力量: 

 “报告结果!连续五批次,不同供应商国产硅片,经新规范流程处理,关键制程参数cpk值全部达标! 

 最终器件关键电性参数(栅氧完整性、阈值电压均匀性)全部优于设计规格!‘东海兼容性引擎’——首次验证,成功!” 

 短暂的寂静后,巨大的欢呼声在洁净室内外爆发!