第563章 重塑(第2页)

 在实验清洗槽和氧化炉上尝试着各种“预钝化”配方和参数组合——氧化剂种类（h2o2、臭氧水）、浓度梯度、温度曲线、时间窗口…如同老中医开方，讲究君臣佐使。 

 “这批娃皮子太‘嫩’，得用最温和的‘粥’（低浓度臭氧水），温度不能高，时间要短，意思到了就行！”周文兵指着一批表面能偏低的硅片数据对王晓军说。 

 “老周，你看这批，表面金属沾污指标有点临界，你那‘粥’里得加点‘料’（微量螯合剂），先把那点‘脏东西’裹住带走！”王晓军指着分析图谱建议。 

 “成！加多少？05试一把！”周文兵从善如流。 

 每一次尝试的效果，都被王晓军用精密的表面分析仪器和后续工艺链的监控数据严格评估。 

 成功与失败的经验，如同涓涓细流，不断汇入那个日益庞大的“适配矩阵”。渐渐地，一份基于实测数据、可操作性极强的“预氧化钝化工艺参数查询表”初具雏形。 

 表格的行是国产硅片的关键特性参数区间（如表面接触角、特定污染物峰值），列是推荐的钝化液配方、浓度、温度、时间组合。复杂的材料适配问题，开始向工程化的“菜谱”转变。 

 而技术部的年轻骨干们，则在王院士案例集里一个关于“快速目检晶舟花篮残留水痕判断清洗效果”的土法启发下，结合现代光学传感技术，捣鼓出了一个简易的“硅片表面亲疏水性快速检测笔”。 

 利用特制的测试液滴在硅片表面的铺展形态和接触角变化，通过一个便携式摄像头和图像分析软件，能在几十秒内给出定性的“正常”、“需温和钝化”、“需加强清洗”三级判断提示，并关联到参数查询表中的推荐方案。虽然粗糙，却为产线快速决策提供了可能。 

 秦浩如同一个高明的指挥家，不断协调着三个小组的进度，组织阶段性的评审会。他将陈哲团队严谨的理论模型、周文兵/王晓军小组庞大的实证数据、以及那个简易快速的检测方法。