第一三八六章 光刻机的现状(下)
Cto汤普森知道euv光刻机不是短时间内能研制成功的,也主张两条腿走路,gCA研究院如今也在研发157n激光器,由于gCA一直以研发euv为主,157n激光器的技术远不如nikon和svg,投资10美元,要是能够收购svg,拿到svg独有的157n激光器需要配置的反折射镜头技术,不能反超nikon,也能同nikon并肩齐驱。
孙董事长不同意公司收购svg,汤普森也不理解。
euvLLC联盟规划投资2亿美元,集合200多位顶尖科学家,目的就是从理论上验证了euv光刻机的可行性?理论验证完成后,euvLLC联盟将宣布解散,将研制euv和euv光刻机的难题交给gCA,据同行在一起估算,研发投资起码要花50亿美元!
汤普森领导euvLLC联盟的200多位科学家,研究了2年多,还没有验证清楚euv光刻机的可行性?
“汤普森院长的担忧也有道理,除了加强研发力量继续研究157n激光器技术外,艾德里安先生可以同papken先生接触一下,看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利?价格可以商量”
papken是svg的首席执行官。
孙健本来不想在董事会上谈论收购svg的事情,但汤普森的提问代表gCA高层的疑惑,不得不正面回应。
当时因为BseC研究院光源研究所还没有研发成功193n浸没式光刻机技术,孙健不反对gCA研究院两条腿走路,但BseC研究院光源研究所去年已经研发成功193n浸没式光刻机技术,gCA再继续投入巨资研发157n激光器就是多此一举,但也不能打击众人的积极性。
“好的,董事长!”
艾德里安心里好奇,为什么孙董事长不同意收购svg?似乎对研发157n激光器技术不是特别支持,难道还有更好的方法?明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。
“汤普森院长,euvLLC联盟一旦从理论上验证了euv光刻机的可行性后,要是gCA继续研发euv光刻机,理论上大概需要多少投资”