第334章 接连不断地好消息传来

　　至于第三点，那就是洁净室，洁净等级要求更高，无尘车间内的空气要比外面干净10000倍以上。

　　第四，则是高数值孔径的反射镜，要求表面非常的平整。

　　如果放大到华国那么大，表面的起伏度也要低于一根头发丝。

　　这几个难点，是研发euv光刻机的拦路虎。

　　其中，光源这些，要靠科宇光源获得突破；反射镜，要靠欧普光电。

　　此外，就是规避专利了。

　　整个团队，已经划分了8个组，目前主要是进行理论设计。

　　在这一方面，江成一个组一个组地进行了交流，也听了下大家的一些想法。

　　和听他们自我介绍不一样，江成这会儿谈的很仔细，对大家的一些好的想法，进行了深入地探讨，一边交流，一边模拟。

　　对于这些研发工程师来说，江成又一次被神话了。

　　不仅哪一块都懂，还只是听了听大家介绍，就把大部分（其实是全部）人都记下了。

　　这种记忆力，真的是太过于妖孽。

　　当然这一次交流，也足足花了江成7天的时间，这才把整个研发方向，初步有了一个想法。

　　那么首先，就是如果设计发出13.5n

　　因此只能选择反射。

　　江成想着，又得让冼珠峰用心磨镜子喽。

　　此外，还有更高精度的双工件台、测量、校准等系统，都是非常不容易实现的。

　　不过好在，193nm的浸没式光刻机已经在江成的带领下实现了国产，这对于整个光刻机产业链的提升是非常大的。

　　“江董，您一来，

　　大家心里就稳了，知道要来做什么了。”楼向晚笑着说道，“之前招来了之后，大家都不知道做什么，有些迷茫，讨论是很多，但一直没有形成有效的方法。”

　　原本他还是不知道江成为什么要花这么多时间，一个个小组地交流过去，但现在，他明白了。

　　在江成的心里，通过这次专门的交流，已经为自己的euv光刻机设计描绘了一个蓝图。