第258章 光刻机胜利在望啊


  第二天之后,江成便发现那个女人又消失了,就连江成跟踪到的信号,也在断了之后,不再出现。

  微微皱了皱眉,江成开始在体内超算中,就附近的摄像头记录开始快速播放搜寻。

  脑海屏幕中,有着32个摄像头小屏同步播放。

  很快,江成嘴角微微扬起,把这些摄像视频都关闭了。

  看样子,有人已经走在了他的前面,用不着他来出手了。

  暂时把这件事放在了一边,江成继续让公司人事部招聘安全保卫人员。

  6月1日,江成到了科宇光源公司。

  目前已经聘请了两个副总经理,分别是江磊、施春燕。

  一个主技术,另一个负责设备和后勤。

  有着江磊,和研发主管耿自如带领一伙研发人员,没有任何后顾之忧的全心研发。

  最后初步选定了两个实验室产出的专利方向,进行进一步的商用研究。

  半年来,总算是有了一定的进展。

  在江成眼前的是一个大型的器械,长方体型,线路外露,显得很简陋。

  “江董,我们按照耿自如的专利方向,进行了深入研发,目前初步做成了这个193nm的准分子激光。”作为技术副总,江磊先行介绍道。

  “它有三层结构,上层是⾼压脉冲电源系统,提供激光转化所需的电⼦能量,也是⼀个强电模块;中间是光学核⼼模块,把⾼压的电能转化成⾼强度的光能;下层是控制模块和⼀些⽀撑模块,包括配⽔、配⽓等等,控制着整台激光器的运作。”

  江成点点头,光听可不行,他还是第一时间伸手过去,直接模拟进入了体内。

  设计这个他可能还差一些,但找茬江成自问第一。

  将整个运行原理问清楚之后,江成便开始了体内模拟。

  不过为了以防万一,江成会放置一些模拟硅片,将阿斯麦耳的物镜系统拿来试试。

  通电,而后发出准分子激光。

  通过物镜系统和观测校准,江成发现虽然能够达到这个波长水准,但石英透镜材料不行,容易让衍射率控制不好,目前只能够做到90nm,最高65nm的光刻工艺。

  这水平,还是有些低了。

  而且,对浸没式光刻机来说,这线宽还不理想,激光强度还需要再提升。

  江成随后让耿自如等人试验了一下。