第252章 造访常春光机所(第3页)

  这样一来,无论是继续深入研发euv光刻机,或是其他更先进的光刻技术,都可以用得着。

  飞机还是很快的,不过2个小时便到达了常春。

  夏季初临,在常春也开始暖和了起来。

  江成等几人抵达的时候,差不多中午了,阳光照射,有些热意了。

  首先去的地方,是常春光机所,位于两道区东湖大道。

  光机所和欧普光电就隔了一条道路,冼珠峰是光机所所长,也是欧普光电的董事长。

  进了光机所,只见得一个大大圆形花坛,右侧是一片淡红色的矮层建筑,只有花坛后面,才是一个15层楼的行政办公楼。

  冼珠峰带着人已经在等着了。

  “卫国院士,江董,欢迎来到光机所指导工作啊!”冼珠峰带着热情的笑容,走向李卫国院士,伸手一握。

  李卫国呵呵笑道,“冼董,这次叨扰了啊!”

  “您老能来,可是我们荣幸,以后可得常来。”冼珠峰笑道。

  江成微微一笑,“冼董,我们直接去看看你们的新突破吧。”

  “江董,你别总是这么急。”冼珠峰略一笑,“行,咱们直接去实验室。”

  随后,一行人边走边聊了起来。

  冼珠峰也是技术工人出身的,对这些镜头的参数都是信口就来,完全不用总工插话。

  等进了实验室,大伙按要求换了蓝色的实验服。

  江成也看到了一个仪器台上摆放着显微观测仪器,下面是一个凸透镜,光滑如镜。

  “……我们的镜头通过高精度机床铣磨成型后,经过小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段,再通过镀减反射膜,基本上24组镜头,已经突破了22组。”指着眼前的镜头,冼珠峰介绍道。

  李卫国对这一块不算很熟悉,只是听着。

  但江成不一样,直接问起了关键的参数,“投影物镜的数值孔径达到了多少?”

  “达到了0.93,这真是靠人工整出来的,太不容易了。”冼珠峰叹了口气。

  “分辨率呢?”

  “能达到22nm。”

  “那还不错。”江成点点头,伸手轻触仪器,一边继续问着,一边顺手摸鱼了起来。

  ……