第592章 罗浩的研究进度(第2页)

　　不要以为13.5纳米很大，要知道，人类的头发的直径大概有8000纳米左右！

　　而漂亮国制作这种极紫外线光是用功率为250的二氧化碳激光去不断轰击滴落下来的金属锡滴液，在进行连续轰击之后，就能激发出euv等离子体，从而获得波长更短的光。在这个过程中，每秒大约要攻击5万个滴液，而一个金属锡滴液，其实只有20微米的大小。

　　而这足以看出来光源为什么会成为阻碍住夏国光刻机发展的一大难题。

　　而另一个难题是反射镜。

　　反射镜的作用是把模板上的电路图等比例缩小，在硅片上以电路图的形式呈现出来，这是制造芯片的关键元件。光刻机中所使用的反射镜，实际上是镀膜反射镜，在反射时会对光谱进行筛选，多次反射可以更好的净化光谱，得到符合要求的euv。

　　而之所以反射镜会成为一个难题，则是因为光在多次的反射之下，因为镜面的精度问题，会对光源造成衰减，而想要得到符合要求的光源那就需要提高反射镜的精度！

　　一句话来感受一下euv反射镜精度到底有多高？假设差不多半米直径的镜面是啤酒之国国土面积那么大，那么其局部的凹凸不能超过1mm。

　　这时刻工艺上的限制，罗浩想要攻克这个难题，就要创造出一种新方法来，一个是要制作出一种波长足够小的光，另外一个就是要找到创造一种工艺，制作出足够满足条件的反射镜。

　　罗浩看着面前的实验结果，嘿嘿一笑。

　　新的极紫光的制作方法已经创造出来了，波长只有10.5纳米！

　　这是罗浩从制作出新型金属之后就一直在研究的东西，接下来就是要攻破第二个反射镜的制作工艺的问题了。

　　“不过这个没有那么重要，反射镜这种东西，啤酒之国也有，而且工艺一直在国际上保持领先。”罗浩摸了摸下巴，“先研究研究，要是做不出来再说，不然实在影响我制作后面的光刻机的操作台。”