第565章 监视(第2页)
时间在令人窒息的紧张中一分一秒流逝。
延长保压测试的数据曲线平稳得如同一条直线。
林薇看着屏幕，紧绷的嘴角微微松动。然而，就在测试时间即将结束的前几分钟！
“在这里！”周文兵猛地直起身，布满老茧的手指如同标枪般，精准地指向pecvd主腔体顶部一个极其隐蔽的、连接射频匹配器的高压电极引入法兰接口！
红外热像仪的屏幕上，那个位置显示出一个极其微弱的、比周围高出不到05c的小红点！“声音最‘涩’！就是这儿！有‘沙眼’！”
几乎同时，王晓军也发出一声低呼：“秦总！林工！快看真空泵电流波形！
在保压测试第57分钟和112分钟时，有两次持续时间不足10毫秒的、幅度小于1的微小电流波动！
位置…和周师傅指的地方完全吻合！是极微小的、间歇性泄漏！在高压差下才会偶尔‘呲’一下！”
真相大白！那个被完美保压测试数据掩盖的、如同幽灵般间歇出现的、极其微小的泄漏点，被“土洋结合”的精密“围猎”揪了出来！
林薇的脸色瞬间变得苍白，随即又涌上一股后怕的潮红。
她看着屏幕上那两次几乎被忽略的微小电流波动，再看向周文兵指着的那个隐蔽接口，后背瞬间被冷汗浸透。
如果没有被叫停…通入硅烷…那难以清洗的粉末状沉积物…设备大修…工期延误…后果不堪设想！
“立刻停机！泄压！更换该处密封圈！”秦浩的声音沉稳有力，带着劫后余生的决断。
“林工，组织抢修！王工，周师傅，将这次排查的过程、发现的异常特征、使用的监测手段。
尤其是这种极其隐蔽的间歇性微泄漏的‘指纹’信号（包括rga水汽峰特征、真空泵电流毫秒级毛刺特征、特定位置异响特征），详细记录。
补充进我们的设备调试案例库！这是血的教训，更是宝贵的经验！”
一场迫在眉睫的重大设备事故被扼杀在摇篮。