第564章 初具雏形(第2页)

 以及现场实时采集的“标准”与“非标”数据，进行整合、分析、提炼，持续地反哺和优化着各个工艺模块的“兼容性引擎”。 

 示范线的建设进度，在一种前所未有的、充满张力和创造力的氛围中，稳步而高效地推进着。 

 主设备安装调试接近尾声，核心的pecvd（等离子体增强化学气相沉积）区域成为焦点。 

 巨大的pecvd设备如同银灰色的钢铁巨兽，多个沉积腔室排列整齐，用于在硅片表面生长关键的无机介质薄膜。 

 这是芯片内部绝缘和钝化的核心环节，薄膜的质量和均匀性直接决定器件可靠性和良率。 

 负责pecvd区域调试的，是一位名叫林薇的女工程师，同样海归背景，技术精湛，作风严谨细致到近乎苛刻。 

 她一丝不苟地按照手册流程进行着腔体清洁、射频电源校准、气路保压测试。 

 每一次测试的数据都被她详细记录，并与手册基准线进行严格比对。 

 周文兵则带着一个小组，重点“盯防”这台关键设备。 

 他们利用一台高精度的便携式残余气体分析仪，这是王晓军费尽心思从王院士团队借来的“宝贝”，可以实时监测腔体内部极其微量的异常气体成分。 

 “林工，主腔体真空度达标，基础本底谱正常。”林薇看着屏幕，一丝不苟地汇报。周文兵凑在rga的屏幕前。 

 花白的眉毛却微微皱起，指着上面一个极其微小的、几乎淹没在本底噪声中的水分子特征峰：“等等！这水汽的尾巴…好像比上次抽完真空后，高了那么一丁点儿？虽然还在手册允许的范围内…” 

 林薇看了一眼，不以为意：“周师傅，这个峰值远低于警戒线，手册明确标注属于正常本底波动范围。 

 我们已严格按照规程进行了48小时高温烘烤除气。气路保压测试也完美通过，泄漏率远优于标准。 

 我认为可以开始工艺气体通入和射频点火测试了。”她的语气带着不容置疑的专业自信。