第562章 全新挑战(第2页)

 咱这‘预钝化’，不是瞎搞，是给娃先垫巴点‘养胃粥’，让它能受得住你那‘猛药’！ 

 这道理，跟王院士这书上说的‘材料缺陷针对性补偿’，一个意思！”他翻到案例集里一个类似的处理记录。 

 “看看！北光所那边，三年前就遇到过类似问题！人家也是加了道温和的预处理！这叫啥？这就叫看菜下饭！” 

 王晓军立刻补充，将笔记本电脑屏幕转向众人，上面是复杂的对比曲线图：“陈工，请看数据。这是我们对比实验的结果。 

 左侧是单纯按手册标准流程处理的硅片，表面残留物图谱显示明显的有机污染峰，对应后续氧化后的雾状缺陷。 

 右侧是经过周师傅‘预氧化钝化’后再走标准流程的硅片，残留物峰消失，表面状态图谱与进口基准硅片高度一致！更重要的是，”他调出另一组数据。 

 “我们对后续形成的栅氧层进行了高分辨率电镜扫描和c-v特性测试，其厚度均匀性、界面态密度、击穿电压等关键参数，完全落在设计规格之内。 

 甚至比之前‘混血线’上直接按手册微调做出来的还要稳定！‘预钝化’引入的薄层非晶氧化层，在后续标准高温氧化过程中被完全‘消化’并整合进了高质量热氧化层！ 

 这不是隐患，这是针对特定材料缺陷的必要补偿！” 

 数据，冰冷而有力。陈哲看着屏幕上那清晰的对比曲线和达标的关键参数，一时语塞。 

 他身后的海归工程师们也陷入了沉默，有人开始快速翻阅自己带来的文献，试图寻找反驳的依据，却发现手册里确实没有涵盖这种“中国特色”的材料偏差。 

 秦浩将这一切看在眼里，适时地敲了敲桌子，声音沉稳有力：“争论暂停。陈工的担忧代表了严谨的工程思维，周师傅的经验和王工的数据则提供了现实的解决方案。 

 现在，目标只有一个：为示范线制定出既能保证质量、又能稳定量产、且能兼容国产材料特性的清洗预氧化工艺规范！这规范，必须建立在科学验证的基础上！”