第560章 全部召集(第3页)

 “明白,陈工,按手册执行。”他瞥了一眼站在不远处观察的周文兵。 

 老周抱着胳膊,眉头拧成了一个疙瘩,看着那些年轻的海归工程师用戴着白手套的手,像对待艺术品一样调整着设备,嘴里忍不住低声咕哝了一句:“光好看顶个鸟用,东西是做出来的,不是供起来的…” 

 设备安装调试紧锣密鼓地进行着。终于,到了首次工艺验证的关键时刻——硅片清洗与预氧化。 

 这是芯片制造最前端、也最基础,却对后续工艺影响至深的环节。 

 洁净度极高的超纯水在崭新的进口清洗槽内循环,晶圆传送机械臂平稳而精准地运行。按照手册,流程完美无缺。 

 然而,当第一批完成清洗和预氧化的硅片被送入检测室,气氛骤然凝固。 

 高倍率电子显微镜下,硅片表面清晰地显示出大片、不规则的浅色雾状区域!这是典型的表面状态异常! 

 “这…怎么可能?” 

 陈哲脸色瞬间变了,他一把抢过检测报告,反复核对参数,“纯水电阻率182兆欧,清洗温度、时间、药液浓度…所有参数完全符合手册!流程没有任何差错!” 

 问题接踵而至。第二批、第三批硅片投入,同样的雾状污染如同幽灵般反复出现,批次性不良!示范线刚刚启动,就遭遇了致命的下马威。 

 洁净室内,空气仿佛凝固了,只有设备低沉的运行声和海归工程师们压抑的喘息。 

 陈哲团队陷入了前所未有的慌乱,他们一遍遍翻查手册,一遍遍重复着“完美”的流程,却始终无法驱散那层顽固的“雾”。