第556章 防护(第2页)
轰！
如同在滚油里滴入冷水，整个清洗区域瞬间炸开了锅。
疲惫不堪的工人们猛地围拢过来，看着仪表盘上那个近乎奇迹的读数，看着王晓军手中那片在灯光下反射着奇异光泽、似乎真的被“洗”干净了的硅片！
“成了？真的成了？！”
“老天爷！真洗出来了？！”
狂喜如同决堤的洪水，瞬间冲垮了三天三夜积累的疲惫和绝望！连空气中刺鼻的酸味，此刻似乎都带上了一丝成功的辛甜！
秦浩推开人群，冲到检测台前，一把抓过那片硅片，对着灯光仔细看着。
硅片表面光洁，没有明显的蚀坑和杂质斑点。
他拿起简易的显微镜，观察着微观结构……杂质密度，确实降到了一个可以勉强接受的水平。
“快！送扩散！”秦浩的声音因为激动而变调，嘶哑地吼道，“老周！扩散炉！按新工艺！上片！”
清洗成功的硅片被如同珍宝般传递出去。周文兵像捧炸药包一样，小心翼翼地将它们装进新改造的扩散炉石英舟。炉门关闭。温度曲线启动。
所有人的心都提到了嗓子眼。清洗只是第一步，扩散掺杂才是真正的考验。
低纯度硅片基底的不均匀性，对掺杂工艺是致命的挑战！
时间一分一秒过去。扩散炉温控仪表的曲线在艰难地爬升、稳定。
周文兵和负责的老师傅眼睛一眨不眨地盯着屏幕，额头上的汗珠滚滚而下。空气中弥漫着紧张得几乎要凝固的气氛。
终于，漫长的扩散和退火程序结束。炉门开启。石英舟被小心翼翼地取出。硅片被传送到光刻区。
王晓军深吸一口气，强压住手的颤抖，将第一片承载着所有人希望的硅片装上了那台被伺服电机强行驱动的、依旧发出不祥呻吟的Лk-50光刻机承片台。
光刻胶旋涂、软烘、手动对准（结合伺服微调）、曝光、硬烘、显影……
每一步都如同在刀尖上跳舞。每一个环节都可能因为硅片基底的微小缺陷或设备的突然罢工而前功尽弃！