第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题
拥有了193n的Arfi准分子激光器的制造技术和800n制程工艺的专利技术,但BseC还不能生产自主知识产权的1u制程工艺的光刻机。
为了将来不被美国政府卡脖子,未雨绸缪,BseC要掌握生产光刻机的三大核心技术:光源系统、光学系统和工作台系统,不断升级换代。
叮嘱邓国辉,BseC光刻机光源研究所研究清楚gCA生产的193nArf准分子激光器的工作原理和制造技术,光刻机光源公司自己生产;叮嘱陈伟长,BseC光刻机光学研究所自己研制成功6英寸晶圆和1u制程工艺的光学镜头和反射镜头,光刻机光学公司自己生产。
孙健承诺,BseC在2年内生产具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u制程工艺的光刻机,淘宝控股公司掏钱奖励项目组200万元;在4年内能生产一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u制程工艺的半导体生产线,他从淘宝控股公司持有的BseC股份中,拿出200万股奖励给做出重大贡献的科技和生产人员,但在规定时间内,完不成任务,就开始裁员!
奖励和裁员双管齐下,管理层、技术人员和普通员工的压力剧增。
邓国辉拿到Arf准分子激光器专利技术,同钱富强仔细研究一番后,如醍醐灌顶,豁然开朗,申请2000万元的研发经费,带领光刻机光源研究所按照gCA提供的技术图纸,消化吸收Arf准分子激光器的专利技术……
1995年2月,经过一年半的攻关,光刻机光源公司生产出一台6英寸晶圆和1u制程工艺的光刻机。
1995年9月,BseC生产了一条有自主知识产权的6英寸晶圆和1u制程工艺的半导体生产线,填补了国内技术空白,打开了国内市场,终于抛掉三年巨亏的不利局面,1995年度实现净利润11600万元。
1996年4月20日,BseC拿到公开发行新股的额度,6月11日,在鹏城证券交易所公开发行了15000万股新股(其中1000万股职工股),每股发行价6元,融资8.73亿元(扣除发行费用),其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500n制程工艺光刻机,0.73亿元用于补充公司流动资金。