第九五六章 研发极紫外光
前世由于AsmL独有的euv光源无人能够研制,国内光刻机光源生产公司的技术没有竞争力,以美国为首的西方国家并没有限制Arf准分子激光器和Arfi准分子激光器的出口。
BseC可以直接进口市场价45五万美元一台的gCA牌Arf准分子激光器,购买蔡司公司生产的光学系统,进口6英寸晶圆,加上独创的光刻机磁悬浮式双工作台系统,就能生产1u制程工艺的光刻机,虽然6英寸晶圆、1u制程工艺的半导体生产线是西方国家淘汰的生产线,但在国内还大有市场。
BseC就可以活下来!
理想很美好,但现实很骨感,BseC就是能制造1u制程工艺的光刻机,不代表能生产6英寸晶圆、1u制程工艺的半导体生产线!
国内缺乏半导体生产线设备的全产业链,如今都压在了BseC的肩上。
BseC生产的1u制程工艺的光刻机也没有晶圆公司会用!
谁投资谁倒霉,这就是“造不如买、买不如租”的主要原因!
好在193n波长的世界性光学难题将困惑光刻机行业八年,给了BseC成长的机会,不然重生者也无能为力。
BseC的突破点就是赶在AsmL之前率先研制成功世界上第一台193n波长的浸没式光刻机!
孙健所有的运作就是围绕这个突破点!
euv光刻机太过复杂,即使投入巨资研发成功euv光源,但对相关的光学系统、光刻胶、掩膜版等设备和材料的要求太过苛刻,需要十万个零件,据说前世有五千多家生产商为euv光刻机供货,重生者还不敢付诸实践。
“孙董事长,BseC能否不转让磁悬浮式双工作台系统专利给nikon?”
拥有了BseC的磁悬浮式双工作台系统专利的终身授权,gCA光刻机光学精密设备研究所升级改造,只要研制成功适应800n制程工艺的磁悬浮式双工作台系统(不能出售和转让专利技术),gCA光刻机的制程工艺就有可能达到500n,达到nikon光刻机的制程工艺,购买休斯电子材料公司(AemC)生产的8英寸晶圆,还能提高35%左右的产能。